二手 KLA / TENCOR SP1 #9097785 待售

KLA/TENCOR SP1掩模和晶片检测设备是一种用于掩模和晶片应用的高度精确和可靠的自动化检测系统。它在整个半导体工业中使用，以确保光学、标线和晶圆特性的质量和精度。KLA SP1利用先进的激光光学传感技术来检测和识别关键尺寸、边缘、基准和其他特征。为了确保准确性和可重复性，它还结合了专门的缺陷检测算法来检测请求特征中的异常。此外，它还具有检测模式异常、桥接、掺杂物污染、线宽变化和其他几个参数的能力。TENCOR SP 1为用户提供高分辨率和准确的结果,比较功能高达1/25,000毫米。其单位精度精度高达3 µm（0.003mm）。为了保证这种准确性，它包含了几个检查组件，如Auto Focus、Digital Zoom和Global Illumination；其他功能（如灵敏度均衡器）,允许用户设置正确的阈值和灵敏度以进行最佳检查。使用经验丰富且用户友好的图形界面,用户可以简单地操作,可以并排比较多个晶圆或掩码图像,以便于进行视觉确认。此外，内置的统计分析仪对每次检查结果进行评估，使用户对其结果更有信心。KLA SP 1还配备了报告生成和导出功能以及机床联网和联网选项,使其易于集成到生产环境中。它还旨在符合全球安全要求、数据安全和ESD标准,让用户安心。总体而言,SP1 Mask和Wafer Inspection Asset是半导体行业先进可靠的检验工具,提供高精度和精密的检验,不仅可确保晶片和Mask的质量和准确性,还可确保其他关键部件的质量和准确性。