二手 KLA / TENCOR SP1 #9193057 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1
ID: 9193057
晶圆大小: 8"-12"
Single open handler, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1是一种自动化的掩模和晶圆检测设备,专为高速、精确和生产率而设计。这种先进的系统非常适合各种半导体生产和封装环境。KLA SP1具有自动加载机制,最多可加载八个掩模或一个晶圆。它使用最新的光学和敏感检测器以高分辨率模式检查每个掩模或晶片表面。此单元可以检测遮罩或晶片表面的缺陷,如划痕、凹坑、污染和空隙。其独特的CMT公差特性可以检测到系统缺陷如错位、错位、图桉变形等。结果在SPC式报告中报告。TENCOR SP 1是一个开放的体系结构平台,易于使用和配置。它具有直观的图形用户界面和软件环境,旨在方便编写脚本和自定义。该机配备了强大的计算机工具,提供充足的存储和处理能力。它还包括一个集成缺陷审查工作站,可以从三维角度分析缺陷。TENCOR SP1专为生产环境而设计,融合了一系列安全功能。它使用空间滤波器和双驱动器优化精度和吞吐量。此外,它的内置分析提供实时缺陷分析,使操作员能够利用资产的功能。总体而言,SP1是一种可靠而有力的掩模和晶圆检测模型。它的自动化功能可提高效率和准确性,而其全面的安全功能可确保最高级别的用户保护。
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