二手 KLA / TENCOR SP1 #9202637 待售

KLA/TENCOR SP1是一种掩模和晶圆检测设备，提供广泛的检测能力，以提高半导体制造工艺的质量。该系统包括高分辨率成像、高吞吐量性能、总体模式检查、自动缺陷审查和数据分析等先进技术。KLA SP1为快速缺陷定位提供晶圆级缺陷审查,并提供多种成像技术以满足客户和行业标准。TENCOR SP1利用高分辨率成像（HRI）技术提供卓越的缺陷检测能力。HRI技术基于原子吸收光波不同的原理，取决于其化学结构。通过组合两束光束产生高放大图像，TENCOR SP1可以检测原子键之间的独特对比。这使得它能够检测微小缺陷的存在，如颗粒碎片或层厚度的变化。SP1还具有专门的模式识别算法和专门的软件，以快速检测、分类和分析缺陷。这些算法根据图层中的形状、大小或位置过滤对象。可以以最高的准确度识别和分类缺陷。软件还可以生成数据摘要报告，用于检测半导体特定工艺或层中的趋势。KLA SP 1还提供总模式检查（TPI）功能。TPI是一种技术,它允许设备扫描整个模式,检测所有可能的缺陷。使用集成显微镜，机器可以进行全场扫描，用即时反馈映射整个模式。这有助于防止未报告的错误,并降低诊断和修复任务的复杂性。最后,SP 1专为高通量性能而设计。它以每小时250晶圆的速度处理大量数据。这种超高速使得它能够同时快速检测和分析多层缺陷。总之,KLA/TENCOR SP1是一种先进的掩码和晶片检测工具,具有优异的性能和无与伦比的缺陷检测能力。它提供高分辨率成像、模式识别算法和总模式检测能力，以确保精确的缺陷检测。此外，该资产还提供高通量性能，以跟上半导体行业的高需求。