二手 KLA / TENCOR SP1 #9248076 待售

KLA/TENCOR SP1是一种串联掩模和晶片检测设备,专门设计用于检测整个硅片或掩模表面的关键缺陷。其专利照明技术，称为HDIR（高清图像识别）照明，照亮了在普通光学检查系统下看不见的小缺陷。它的分辨率高达4K x 4K，使得它只能检测到几微米大小的缺陷。该系统由一个直观的软件提供动力，该软件利用复杂的算法和分析来自动评估缺陷。它旨在快速识别它们并生成全面的计量报告,从而帮助减少误报和产量损失。该单元还具有一台用于内联晶片映射的机器，以快速查明和映射缺陷位置，以及一个自动驾驶仪功能，使其能够以最小的用户交互自动运行作业。此工具功能强大,足以检查晶片和掩码。对于晶片，它可以检测到弱点，如线缘粗糙度和角缩短，以及一般的污染。它还检测线宽验证的模式间距，以确保晶圆满足生产要求。对于口罩，它能够检测到被灰尘、颗粒或锈蚀污染的口罩。资产还可以检查区分标记或标识模式,以确保掩码满足生产要求。KLA SP1模型运行一整套用于评估的行业标准测试套件,使用户能够将其结果与从可比系统获得的结果进行比较。它高度可配置,以适应任何进程、应用程序或环境,并且还与多个启用WLAN的接口兼容,从而允许远程诊断和维护。总体而言,该设备旨在提供干净、准确和可靠的结果,而无需操作员干预。这使得TENCOR SP 1成为半导体屋面行业和需要检查其用品的设计师的理想解决方桉。其HDIR照明技术和可靠的分析有助于保证口罩和晶片无缺陷并符合生产标准。