二手 KLA / TENCOR SP1 #9293262 待售

KLA/TENCOR SP1是一种用于检测晶圆或光掩码上的表面缺陷（如颗粒、划痕或针孔）的掩模和晶圆检测设备。该系统采用内联计量、检验和检验后审核能力相结合的设计。它覆盖有暗场照明的亮场照明，提供增强的对比度和缺陷检测在不同的角度，以产生最高的灵敏度。该单元采用双面双束激光扫描和多波长LED光源，确保完全尺寸均匀性和可检测性。它配备了先进的检验/计量加工机（IMP），允许用户将各种测量和检查模块应用于他们的特定工艺要求。正在申请的专利5倍固态激光扫描仪采用两次绕行的单次扫描眼科技术，实现高速测量和数据精度。为进一步确保准确性,KLA SP1使用自动全场成像工具以及多种用于缺陷检测和分析的高级算法。它包括先进的图像处理和3D图像处理算法的应用，以增强缺陷检测能力。此外,资产还集成了高级软件工具,以提供额外的价值,例如缺陷的精确定位、大小确定和分类。高弹性的TENCOR SP 1具有用于极端温度、气体和湿度控制的环境室。它还设计了一个轨道安装，高振幅气刀，在检查之前去除超细颗粒。该模型效率高,通过自动缺陷审查提供了方便和快速的分析。32负载APC模块和聚焦电路选项允许在单个晶片上进行高生产率和缺陷分析。总体而言，SP 1是一种最先进的掩模和晶圆检测设备，旨在满足半导体制造的挑战性要求。该系统提供高精度和质量控制，由于其先进的处理特性、成像能力和检查后审查能力。它是半导体工业中确保最佳产品质量和工艺的宝贵工具。