二手 KLA / TENCOR SP1 #9382809 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1
ID: 9382809
晶圆大小: 12"
Particle counter, 12".
KLA/TENCOR SP1是一种掩模和晶片检验设备,用于成像和检验半导体制造掩模和晶片。它包括一个具有集成成像马达、传感器和光学设备的节省空间系统、一个软件套件以及一个简化设备与客户制造环境集成的平台。KLA SP1的主要目标是以高分辨率成像技术、边缘图覆盖能力、检验结果统计分析以及提供线性、重复性和准确性的先进算法,实现对制造的掩模和晶片质量的快速可靠检测。TENCOR SP 1由一个强大的光学平台组成,它提供高分辨率的成像和卓越的照明,以提供可靠和可重复的检查结果。该机器配备了集成的电动X-Y级,便于对6"或12"晶片或掩模进行无缝成像和检查。它还包括一个先进的光路径优化(LPO)技术,快速调整光路以优化图像采集,同时将图像噪声降至最低。SP 1以每小时1000张影像的速度运作,提供高速和精密的影像,用于实时分析。与KLA/TENCOR SP 1关联的软件套件是一套软件工具,通过提供工作流自动化、缺陷检测、项目跟踪和实时诊断来优化检查过程。它旨在减少刀具设置时间、自动化实验室测试和优化检查周期。该套件包括其自己的综合用户界面,包含数据收集、图像处理、缺陷分析、项目跟踪、结果验证和报告等功能强大的功能。它还能够生成各种格式的检查结果,包括PDF、HTML、XML和CSV。TENCOR SP1还配有简化客户与制造环境集成的平台。它提供了可自定义、易于安装的软件解决方桉,用于资产和库存管理、计量协调以及结果验证。它确保操作员与KLA SP 1资产之间的无缝通信,并具有将多个SP1系统连接在一起的能力。该平台还通过提供详细的活动记录以实现可追踪性,帮助简化生产并最大程度地减少停机时间。凭借其强大的成像技术、先进的软件套件和智能平台,KLA/TENCOR SP1使客户能够快速准确地检查其半导体器件、晶片和掩码。它消除了手动缺陷,提供了易于集成的定制,并有助于降低成本和最大限度地提高制造过程的效率。
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