二手 KLA / TENCOR SP2 XP #9195049 待售

KLA/TENCOR SP2 XP是一种掩模和晶片检测设备，提供卓越的光学性能和业界领先的测量精度，用于高精度的研究、开发和制造用途。其最先进的光学设计为半导体掩模和晶圆检测提供了卓越的图像捕获和先进的缺陷检测能力。它还提供了直观的操作员界面和自动化程序，以实现快速、可重复的结果和易于操作。KLA SP2 XP系统专为优越的光学性能和检查精度而设计，提供与同类系统相比具有全景深照明和10倍大视野的高分辨率成像。这允许用户检测结构中非常小的缺陷和变化，同时避免误报。TENCOR SP2-XP具有集成扫描单元,包括533 nm固态激光器、整个晶圆上的快速移动光束和用于实时图像捕获的CCD检测器。它还包括一整套用于条件评估、缺陷低对比度检测和缺陷检测的软件工具,使用户能够检测非常小且难以看到的缺陷,同时避免虚假结果。SP2-XP是为了满足最苛刻的要求，半导体晶圆和掩模检查。它具有扫描和非扫描两种模式的纳米级分级控制的高精度分级机，以及超高速扫描均匀性和精度的先进电机控制。该工具还提供了交互式用户体验,具有直观的GUI和自动化程序,可快速、轻松地检测和隔离缺陷。实时缺陷检测可以在两种模式下完成：不间断扫描和不间断自动检测，从而提供更大的灵活性和时间节省。KLA/TENCOR SP2-XP是一个经济高效的解决方桉，简化了检查晶圆和掩模模式的过程。凭借其优越的性能和全面的功能集，是在研发、制造中进行掩模和晶圆检测的理想选择。