二手 KLA / TENCOR SP2 #293603852 待售
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KLA/TENCOR SP2是为半导体工业设计的先进的掩模和晶圆检测设备。是高容量晶圆级缺陷检测的理想解决方桉，提供正面和背面接触成像的自动光学检测。该系统能够检测半导体晶圆制造中的缺陷,从最复杂的图样和接触形状到非常小的细节。KLA SP-2有一个先进的目标和照明器，它提供了一个复色成像单元，用于成像具有无与伦比的对比度、分辨率和空间精度的视场。其独特的双光谱成像技术能够快速检测到透明和不透明的缺陷，直至1 um间距。其他成像功能包括自动非均匀性校正、背景减法、小特征分辨率和增强对焦。TENCOR SP 2在不同的晶圆成像模式下运作，如RGB光微成像、亮场成像和弱光背侧成像。它具有先进的检测能力，可用于检测蚀刻和非蚀刻电路、接触形状以及基板层中的缺陷。其智能检测算法利用不同类型的滤波、卷积和神经网络聚类，比人工晶片检测更快地检测缺陷。SP 2有一个用户友好的图形用户界面（GUI），允许操作员对机器进行编程以进行更准确的缺陷检测，并检查用于处理的参数。此外,该工具还通过一套功能强大的分析和报告工具支持数据分析和管理。KLA/TENCOR SP-2通过提供快速准确的缺陷检测,提高制造周期的产量,提高工艺精度。适用于晶圆级晶片稀释工艺、凹凸和中间细粒线形成工艺，以及处理透明技术，如3D IC、指纹认证、物联网等。
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