二手 KLA / TENCOR SP2 #9023715 待售

KLA/TENCOR SP2是一种自动化的掩模和晶片检查设备，用于在集成电路生产过程中检查掩模和晶片。KLA SP-2的精确度和速度是其先进的光学和测量技术以及自动缺陷检测能力的结果。TENCOR SP 2测量成功检查掩模和晶片所需的所有主要OPC（光学接近校正）参数，包括CD（临界尺寸）和MIS（微观检查系统）测量。它还包括OPC模型建立能力，可以测量CD-SEM、CD-FTIR（傅立叶变换红外）、CD-AFM（原子力显微镜）、AUBO-OCT（光学相干断层扫描）和条纹投影。KLA SP 2的最先进的纳米级测量技术采用了五维对准单元，在调整相机镜头位置和角度时提供了增强的灵活性和精度。SP2采用专门的缺陷检测算法和图像处理过滤器来检测、量化和报告其发现。除了读取KLA和TENCOR生成的图像外,它的大型成像库还可用于将测试图像与已建立的好组件模式进行比较,或为检查或挑战做好准备。例如,它的自动缺失级别检测可以快速识别晶圆中缺少的适当级别,从而使用户能够快速识别和解决生产过程中的任何问题。最后，SP2包括一个连续自动对准机器，配合传感器的光场图像工作。用户只需输入适当的参数,即可快速自动校准工具以检测批次不可接受的产品。此外,该资产的自动缺陷识别算法的可靠性超过90%,这意味着该模型可以独立检测复杂的缺陷和分类。综上所述，TENCOR SP-2是一款先进的自动蒙版和晶圆检测设备，配备了最新的光学和测量技术。其检测和快速分类缺陷、测量OPC参数和自动对准图像的能力使其成为集成电路生产过程中不可或缺的工具。