二手 KLA / TENCOR SP2 #9138110 待售
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已售出
ID: 9138110
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Surface inspection system,12"
Dual FIM /FOUP
Vacuum puck handling
Wafer measurement module
Optimized sensitivity
Throughput < 37 nm defect sensitivity on polished bare silicon
Enables qualification of current
Next Generation Substrates
SOI, Strained SOI
Strained Si
UV Laser illumination
Defect map
Histogram with zoom
IMicroview measurement capability
Real-time defect classification (RTDC)
Can be upgraded to SP2 XP at additional cost
Microsoft XP operating system
Blower box
2012 vintage.
KLA/TENCOR SP2是专门为评估掩模和晶片质量而设计的先进的掩模和晶片检测设备。这个尖端的系统结合了专有的光学成像、缺陷检测和先进的分析,保证了全面准确的检查。KLA SP-2能够执行一系列自动化任务,例如细线图像评估、缺陷检测,以及利用嵌入在所有前沿光刻技术中的大量传感器。它能够分析薄膜层的厚度,识别设备特征的关键尺寸,并执行其他关键计量功能。此外,该单元还能够监控工艺结果的均匀性,并评估光学光滑表面部件的质量。TENCOR SP 2具有高级模式识别功能,为用户提供了识别易感缺陷的有效方法。可以确定零件质量不足,因为机器能够检测污染物、缺陷和其他材料不正常情况,从而导致生产的可维修部件减少。KLA/TENCOR SP 2工具能够提供深入的数据收集,提供在行动过程的实时画面。此外,资产能够促进缺陷可扩展性分析,从而能够评估过程趋势,从而提高收益率。收集的所有数据都是存储的,可以轻松检索,从而确保用户能够有效、准确地做出数据驱动的决策。SP-2被广泛认为是创新的面膜和晶圆检验模型。利用专有的光学成像和高级缺陷检测,它能够为用户提供准确而全面的过程结果概述。这是一个宝贵的工具,可以促进提高生产效率和产量。
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