二手 KLA / TENCOR SP2 #9167412 待售

KLA/TENCOR SP2是一种掩模和晶片检测设备，提供半导体掩模和晶片表面的高速、高分辨率成像，能够进行高度敏感的缺陷检测。系统能够在每次扫描中扫描一个或两个完整晶片,并能够在单个晶片扫描和完整晶片检查之间进行切换。该单元有四个主要组件-光源、照相机、光学室和自定义成像软件。光源是由三个不同波长组成的定制LED阵列。此配置提供统一但高强度的照明,这意味着图像质量在不同的曝光条件下保持一致。KLA SP-2的相机是一个背光CCD成像阵列。它旨在最大限度地提高对不同层次的掩模透明度和反射率的敏感性。这样可以进行高对比度成像，使机器能够检测样品表面的各种缺陷和其他特性。光学室滤出相机和图像中不需要的低级光源，同时也为相机提供有效的对焦。加上工具独特的照明设置，这个光学室还用于控制资产的景深，允许用户根据应用选择一个浅或深的景深。最后，设计了TENCOR SP2软件来快速准确地处理模型产生的图像。它包括多种图像处理算法，包括缺陷检测、自动缝合、图像配准和像差校正。软件还允许用户进一步自定义他们的分析，使他们能够将专门的算法应用于样本表面上的特定模式或特征。总体而言,KLA/TENCOR SP-2是一种功能极其强大的掩模和晶圆检测设备,可为用户提供其半导体样品的精确和高分辨率成像。该系统具有通用的光学室、高效的LED照明阵列和先进的图像处理算法,能够检测到各种缺陷和特性,直至亚微米级。