二手 KLA / TENCOR SP2 #9232738 待售

KLA/TENCOR SP2是设计用于半导体制造的掩模和晶圆检测系统。利用先进的单光子计数技术，KLA SP-2为掩模和晶片提供了全面的缺陷检测和检测解决方桉。TENCOR SP2由专用掩模检测子系统和晶圆基板检测子系统组成。这些子系统中的每一个都配备了集成成像、成像扫描仪、照明器和缺陷分析软件。成像扫描仪可实现具有动态聚焦和曲率测量功能的高分辨率成像,从而实现图像比较的高精度。这些照明器提供高度加速的照明，使检查速度达到最大，并优化缺陷检测。SP2还具有用于自动缺陷检测和缺陷分类的高级成像软件。这些软件应用程序旨在识别常见的过程类型-开发和缺陷相关异常,以及制造不当或设备错误造成的缺陷。此外,成像软件与SEM和TEM成像技术兼容,能够快速准确地检测缺陷。为了最大限度地提高吞吐量,SP-2具有多层、全自动扫描功能。这种自动扫描功能允许同时检查和分析多个掩码/晶片切片,从而显着提高了检查速度并改善了掩码/晶片缺陷覆盖范围。KLA SP2还包括用于掩码和晶圆表征的集成用户界面。此用户界面提供高效的图像可视化、比较和分析,允许用户快速查看和优化用于生产的掩码/晶片。此外,系统还配备了一系列统计信息、图像处理和分析工具,以确保最大程度的过程控制和产品可靠性。最后，TENCOR SP-2系统包括一个先进的数据记录和统计工具，它提供了缺陷类型和大小的详细记录和分析。此功能允许对缺陷进行精确分析,从而在生产过程中实现详细的根本原因分析和改进决策。总体而言,TENCOR SP2为掩模和晶片检查提供了理想的解决方桉,以自动化和高效的方式提供了全面的缺陷检测和特性鉴定功能。