二手 KLA / TENCOR SP2 #9282100 待售

KLA/TENCOR SP2是一种先进的自动光学检查（AOI）设备，设计用于掩模和晶圆检查应用。该系统采用先进的计量学和晶圆检测仪，将高强度和重复性与高分辨率成像相结合。它提供了增强的缺陷检测功能,并提供了广泛的覆盖工具,以满足流程要求并帮助降低成本。KLA SP-2机包括暗场、多波长和偏振成像等先进的检测和制图技术，使其能够检查挑战设备中最困难的缺陷。该工具还采用了结合计算机辅助检测和高级显微镜的溷合算法，用于高精度缺陷检测和分类。此外,TENCOR SP2利用基于矢量模型的缺陷捕获和测量算法加速缺陷检测和分类,提供了一种高质量的输出,可作为其他特定分析工具的输入。KLA SP 2资产进一步提供了扩展的高分辨率成像功能,包括部分覆盖和3D成像,使客户能够检查各种电路层和基板上的纳米级缺陷。它还提供了对"浮子"（亚微米粒子）进行分类和分类的独特能力，以及局部化的边缘和边缘拉入检测。SP2模型可提供高灵敏度和低错误率能力,从而改进质量控制。该设备还能够进行高通量晶圆检查和质量控制，提高每小时缺陷等级，并提高流程操作效率。该系统可以很容易地集成到公司现有的单元流程管理中，并附带一套综合的应用程序编程接口（API），用于自动化。KLA/TENCOR SP-2机器可实现精确、可重复的掩模和晶片检测,从而降低生产成本并提高产品质量。可靠可靠的工具,具有先进的图像分析功能、无与伦比的计量功能和直观的用户界面,共同确保了设备和晶圆检测的最高产量。