二手 KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9115616 待售

KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN是一种用于快速准确检测集成电路制造缺陷的掩模和晶圆检测设备。它提供高分辨率、快速扫描、完全自动化以及与其他系统的轻松集成。KLA SP3 SURFSCAN系统在单单元解决方桉中提供了具有高性能、高速采样和测量功能的自动化表面检查和微观表面计量。TENCOR SP3 SURFSCAN包括自动化和高性能光学显微镜、电动级、以及强大的成像和分析机。通过将主动去除和计量技术与高分辨率成像相结合,冲浪扫描解决方桉可以将采样的精度和速度提高到以前无法实现的水平。SP3 SURFSCAN显微镜具有工作距离可达200 mm的高功率物镜,提供卓越的精度和分辨率。强大的成像和分析工具加快了对物理、电气和化学缺陷的检测和分类,从而能够快速准确地检测和修复缺陷。KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN资产还支持多种晶圆材料类型，包括镀钢、塑料和玻璃表面。此外,它还支持多种模式过程,包括光处理。它还设计用于支持经常用于纳米级工艺的湿法和干法。KLA SP3 SURFSCAN还提供集成的光学测试和计量工具，其中包括电阻率映射、CD和Roughness测量以及3D映射。这些工具使设备能够快速表征,使最终用户能够在制造IC的过程中准确测量设备表征的变化。集成的光学测试和计量工具能够更快、更精确地识别缺陷和识别过程模式。此外,高分辨率图像采集和缺陷分类允许用户准确检测和修复任何缺陷。这样可以实现更快、更准确的过程,并显着降低制造成本。最后,TENCOR SP3 SURFSCAN还通过其直观的图形用户界面提供了增强的用户体验,从而清楚地了解了发生了什么。该模型的高级报告和数据分析功能使评估和比较过程和产品结果变得容易。集成的工作流设备使用户能够有效跟踪和监控进度，实时查看质量指标。