二手 KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9238001 待售

KLA/TENCOR SP3 SURFSCAN是一种高度先进的掩模和晶圆检测设备。它是各种尺寸的光掩模和晶片检验分析的首要系统。这个检查单位利用先进的光束扫描技术和复杂的算法来检测从微米到纳米的缺陷。此外,该机器还提供符合行业标准的全场缺陷分析和缺陷分类。该工具的主要特点是其先进的光束扫描能力。此资产使用光束检查掩模和晶片并检测任何异常。光束以线性方式扫描,能够检测单个像素上小于5微米的缺陷。这种扫描速率远高于传统的扫描电子显微镜，允许更全面的缺陷检测。然后,模型的复杂算法继续识别-并对检测到的任何缺陷进行分类。分析图像，将缺陷分为暗面和光面两类。此分类可帮助操作员查看和识别可能的原因。除了提供缺陷检测和分类外，该设备还可用于多种扫描后缺陷分析。它包括基于库的智能缺陷分析和缺陷大小、位置、形态和缺陷历史的统计测量等选项。此外,它还可以模拟任何缺陷的计量测量.该系统还能够执行一系列光刻模拟、分析和其他光学测量。为了支持更复杂的设计,该单元集成到Mentor Graphics和KLA等领先行业制造商的最新光刻设计和模拟工具中。总体而言，KLA SP3 SURFSCAN掩模和晶片检测机是检测和分类各种尺寸的光掩模和晶片缺陷的可靠而精确的工具。它结合了先进的光束扫描、复杂的算法和扫描后缺陷分析，成为半导体制造行业的宝贵工具。