二手 KLA / TENCOR SP3 #293645625 待售

KLA/TENCOR SP3掩模和晶片检验设备是一种专门的质量控制系统，旨在检测和测量光刻掩模和晶片表面的缺陷。该设备能够在短时间内准确有效地识别晶圆和掩模表面的缺陷。KLA SP-3利用先进的光学、成像和激光技术来检测亚微米结构和其他异常。TENCOR SP 3配备了几个功能，使其能够准确确定缺陷并提供缺陷类型、其大小和位置的信息。这台机器能够进行各种检查，如顶部表面检查、图像显示、点计量、迭加计量和迭加散射计。所有这些检查都可以一起使用，以提供增强的蒙版或晶片的整体图像质量。为了确保准确性和一致性，SP3与一种名为Scanpool的创新技术集成在一起。这项技术允许对晶片或掩模表面进行精确和均匀的扫描，从而实现高度精确的测量和更高的效率。此外,KLA SP3还集成了纠错、焦点优化、自动线路传感器和一套高级图像处理算法。SP-3进一步能够进行超微米聚焦优化、纠错和Z高度的高端线路分析。此外,它还可以单独测量表面粗糙度、宽度、CD和CD变化,从而改进缺陷分析和表征。此外,KLA/TENCOR SP 3配备了直观的用户界面,而Control Workstation软件允许轻松操作和定制,使其成为一个强大而灵活的工具。TENCOR SP3是一种功能强大且经济高效的工具,可确保高质量控制。它提供可靠、一致的检查和准确性,使其成为质量控制应用的理想选择。它还为成本提供了巨大的价值,使行业能够从成本节约和改进的过程控制中受益。