二手 KLA / TENCOR SP3 #293648486 待售

KLA/TENCOR SP3掩模及晶片检测设备是一种最先进的成像和分析设备,旨在检测和识别半导体掩模和晶片中的缺陷。KLA SP-3配备了先进的光学、先进的图像处理和精密的测量软件，以确保每一个功能都得到彻底的检查和测量。TENCOR SP 3利用专有的"三维照明"技术开发出高分辨率图像，用于精确的缺陷检测和测量。该系统能够获得最复杂形状的清晰图像,包括具有窄间隔线和紧密耦合空间的图像。所使用的高级光学器件的视场为52 μ m,可以检测小至4 μ m的特征大小。该单元的照明方面包括范围广泛的LED照明光谱和高精度瞄准视图区域，从而可以对线宽、尺寸、位置等特征进行详细检查。TENCOR SP-3拥有先进的自动化测量软件,能够进行本地化和全局缺陷测量。机器使用算法和用户定义测量的组合来预测和检测缺陷类型，如线宽、尺寸和位置（LWDP）违规、临界尺寸（CD）错误和电导率错误。它还特别配置为满足电容、泄漏和氧化物捕获等电路设计挑战。KLA/TENCOR SP-3工具非常方便用户且易于操作。它提供了一个全面、直观的界面,便于驱动、检查、测量和分析缺陷和特征。资产还配备了全面的基于知识的方法,使用户能够快速轻松地查找信息。SP-3提供了提高吞吐量和生产率的多功能工具,同时使工程师能够快速、准确地检测和测量缺陷,从而提高半导体制造质量和效率。该模型还得到了业界领先的客户支持工程师团队的支持,他们可以讨论与设备及其功能相关的任何问题。