二手 KLA / TENCOR SP3 #9183008 待售

KLA/TENCOR SP3是为半导体工业设计的掩模和晶圆检测设备。该系统利用高性能的光学和成像系统来自动化晶片、掩模和透镜的检查过程。该单元包含几个组件，包括光学平台、图像分析和成像组件，以及高级触摸屏数据审查。KLA SP-3是围绕高分辨率、充满电荷的设备成像CCD构建的,其像素分辨率高达13K,可生成晶圆、掩码、镜头和其他组件的高分辨率图像。TENCOR SP 3除了捕获设备的高质量图像外，还可以捕获缺陷图像，并与参考样本进行逐模比较。这样，机器就可以检测到任何可能影响晶圆性能的缺陷的位置、类型和大小。该工具配备了强大的成像和数据审阅界面，为用户提供了一个真实的图形环境，用于审阅和评论晶圆性能，包括趋势图和CD图。此先进技术包括易于使用的功能（如SmartDefect识别和缺陷分类）,以帮助快速识别和分析缺陷特征。资产还包括一个内置的缺陷库和高性能的软件算法，可以为用户提供快速、准确的晶圆和掩码分析。KLA/TENCOR SP 3结合了先进的成像技术以及易于使用的触摸屏功能和高度直观的用户界面。利用该模型方便的用户界面,用户可以从生产线中的任何位置以任何规模快速访问检查结果,以便于理解图形演示。设备中包括的所有部件都完全符合安全和准确性的行业标准。KLA SP3是一种革命性的掩模和晶片检测系统，旨在为半导体制造商提供最有效、准确、可靠的方法来检测、分析和修复晶片、掩模和透镜元件中的缺陷。该设备具有强大的成像和数据审查功能,使其能够提供有关缺陷特性的详细信息,从而最大程度地节省成本并提高设备性能。