二手 KLA / TENCOR SP3 #9236215 待售

KLA/TENCOR SP3是一种掩模和晶片检测设备，旨在对掩模和晶片缺陷进行全面准确的评估，从而能够正确及时的纠正行动。该系统由光学显微镜头、激光束和光电探测器组成，用于检测和测量缺陷。显微镜头功能包括自动图像捕获、缺陷检测和自动分类。激光光束用于快速检测和高精度识别缺陷，光电探测器提供晶圆和掩模清晰清晰的图像。该单元生成晶片或掩模缺陷的详细报告,其中包括缺陷大小、形状、倾斜和深度的测量值。该机器与主机检查和计量系统连接，能够实时管理缺陷信息和分析。该工具还包括功能强大的可视化工具,可轻松显示缺陷。这可用于便于分析和识别缺陷，并有助于纠正行动。该资产的设计旨在确保高效和快速周转的检查和分析，同时尽量减少用户干预。该型号还可以升级,并具有自动校准、资源和节省时间的功能。KLA SP-3设备能够操作多达150毫米的晶片，并附带各种选项，包括适合各级检查的滤镜、透镜和启用器。其可配置的配方技术可确保各种应用程序的最佳性能。TENCOR SP 3的高级编程允许模拟各种条件并检测所有类型的缺陷，从表面切割到堆叠的掩码。该系统内置智能，为大容量晶圆检测提供了准确的结果，也确保了关键和复杂缺陷的高精度。KLA SP3具有高度可靠和用户友好的直观导航和控制功能。它提供了一整套缺陷和晶圆分析解决方桉,实现了更好的过程控制、更快的制造和更高的效率。