二手 KLA / TENCOR SP3 #9236717 待售

KLA/TENCOR SP3是为先进设备制造而建造的高精度掩模和晶圆检测设备。该系统利用亮红色LED成像引擎提高了结果,利用KLA行业领先的光学计量、成像和分析技术提供了卓越的准确性和识别速度。KLA SP-3的分层方法结合了卓越的照明和像素级分辨率,能够收集每个应用程序所需的特定数据。该单元使制造商能够从多个级别的测量中获取和比较数据,以准确检测和识别晶圆和掩模模式。先进的光学检测机，TENCOR SP 3设计有高速红外（IR）激光器、先进的光学、光源和几个图像传感器。此设计使该工具能够检测掩码和晶片系统上的缺陷,同时提供卓越的分辨率。该资产能够以与单个光波长一样细的分辨率无损测量和检测掩模和晶片图样中的缺陷。此外，该模型还提供亚纳米精度。设备采用模块化设计，允许用户根据自己的特定应用进行定制。例如，该系统可用于检测堆迭、桥接、短裤、污染物、凹坑、划痕等多种缺陷。此外,KLA SP 3还具有一个用户友好的软件平台,具有多种功能,包括远程访问功能和自动过程控制优化,以进一步为特定应用程序定制设备。KLA/TENCOR SP 3的特性和功能使其成为对设备模式进行卓越检查和表征的理想解决方桉。凭借其准确高效的解决方桉,SP 3是先进设备制造和关键检测的首选。