二手 KLA / TENCOR SP3 #9251594 待售

KLA/TENCOR SP3是一种掩模和晶片检测设备，提供无损、高分辨率的光掩模和晶片分析。该系统提供具有NA 0.85亮场/暗场双镜头配置和光学凋刻的双光束技术。它允许用户在设计过程的任何阶段访问、管理和分析光掩码和晶片,并在投入批量生产之前验证其正常功能。KLA SP-3单元具有多种内置功能和组件,可实现快速、精确的性能。它的高分辨率区域扫描相机（HS-Camera）和多种光学器件以低像素噪声水平提供了出色的成像能力。该机还采用智能聚焦技术，加速聚焦过程，产生更高质量的图像，提高检测性能。集成的软件环境使用户能够使用用户友好的界面设置、监视和存储自动化流程。该工具有三种配置；固态单摄像头、双摄像头资产和包括摄像头和扫描仪的全型号。该设备还配备了自动对齐系统，用户可以快速准确地对齐模式，以确保对确切的模式进行检查。它还具有自动缺陷控制功能,可以快速准确地检测和分类缺陷。TENCOR SP3设计用于精确、彻底地检查掩模和晶片表面。其创新功能为快速、精确地检查设备特性提供了自动化流程。因此，KLA SP3单元能够准确和全面地识别微结构中的缺陷，而这些缺陷通常是人工检查所看不到的。该机器能够以一微米或更少的精度识别缺陷,并且能够快速识别接触和非接触表面上的弱到中度缺陷。其高检测灵敏度和准确性使其成为先进的光掩模和晶圆分析的理想工具。