二手 KLA / TENCOR Spectra CD 100 #9269260 待售

KLA/TENCOR Spectra CD 100是一种用于检测光掩模和晶片缺陷和任何其他不规则性的掩模和晶片检测设备。它有一个多轴光头，使它能够提供自动化的三维成像，详细的缺陷检查和数据分析。该系统配备了高端光学套件和先进的缺陷检测算法，使其能够检测到面罩或晶片上最小的缺陷。KLA Spectra CD 100利用专有的"电子束检测"（EBI）技术对掩模和晶片表面进行缺陷检测。这项技术包括使用扫描电子束来创建掩模或晶圆表面的地形图像，然后可以用来检测和量化缺陷。TENCOR SPECTRACD 100能达到0.2 μ m的分辨率，甚至能检测到最小的缺陷。除了单元的缺陷检测能力外，Spectra CD 100还提供了对掩模和晶圆表面的详细分析。它提供了三维成像和曲面轮廓分析功能,允许用户深入可视化和分析曲面。该机器还能够提供高达500晶圆/小时的吞吐量,并具有各种工具,使其能够降低成本和提高产量。该工具旨在满足半导体行业所需的标准（JEDEC、SEMI和MIL-STD）。它提供了一整套软件工具,使用户能够分析每小时多达1000个晶圆的数据。软件包括全面的报告功能、实时缺陷分析、自我监控传感器以及多个用户登录。KLA/TENCOR SPECTRACD 100是检测半导体工业中的掩模和晶片的理想选择。它可确保高精度、节省成本和提高生产吞吐量,使其成为掩模和晶片检查的绝佳选择。