二手 KLA / TENCOR Spectra CD 100 #9399340 待售

来自KLA的KLA/TENCOR Spectra CD 100是一种用于检测半导体工艺层中微观缺陷和污染的掩模和晶圆检测设备。它使用先进的算法来准确可靠地检查面罩、晶片和电介质的各个方面。该系统结合了敏感的光学和成像技术，以快速和精确地识别潜在的工艺问题和粒子污染。综合检测算法为检测到的粒子提供了准确的分类。该装置的光学器件效率很高,可用于高对比度成像和检测小缺陷和低污染。先进的光学硬件和软件的应用导致了更快、更高质量的工艺优化。KLA Spectra CD 100配备了允许在一次扫描中扫描大表面积的舞台技术。机器具有较高的平移和旋转精度，从每个晶片获取大量图像。功能强大的软件配备了一系列可定制的报告格式，允许基于特定应用程序定制报告。该工具还可以配置为检测和分析各种异常和潜在缺陷。掩模和晶圆检查工具包（MWIT）具有多种模式，包括全模具和光谱成像。利用光谱成像，资产可以检测和分类单个粒子、小尘埃粒子和溢出物，甚至在较大的表面上。先进且易于使用的软件还提供了用于解释、可视化和组织测量数据的分析工具。软件可以生成图形和pdf格式的自动报告。TENCOR SPECTRACD 100是设计和FA应用的理想选择。它具有可靠、准确的性能，适用于检测微粒污染、涂抹和配准问题，直至亚微米级和纳米级分辨率。先进的光学和成像功能即使在对比度较弱的区域也能检测到小缺陷。这种功能强大的模型快速可靠,为用户提供了一种经济的解决方桉,可用于推进工艺开发和改进掩模和晶圆检测功能。