二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #293824131 待售

KLA / TENCOR Spectra CD-XT
ID: 293824131
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Scatterometry metrology tool, 12" Inline CD and profile measurements 2009 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD-XT是一种用于先进半导体制造的掩模和晶圆检测设备。它结合了优越的边缘分辨率、1-2.5纳米几何测量和超低噪声测量能力,使半导体制造商能够快速识别和消除其生产线中的缺陷,将成本降至最低,提高产量和吞吐量。KLA Spectra CD-XT设计用于检查从光掩模板到晶片的一系列基板。配有集成晶片边缘检测系统和精密光学测量单元,用于详细缺陷和使用分析。这意味着,即使晶片和掩码上的最小缺陷(最大1 nm),机器也能检测到可能影响产量的最小缺陷。TENCOR SPECTRA CD XT采用强大的图像自动对焦和自动调谐功能进行了优化,使用户可以快速准确地检查掩码和晶片。它还利用高精度光学工具集中于扫描粒子,从而能够检测这两种产品的微观缺陷。此外,该资产还具有大型可调紫外线照明模型和低噪声CCD成像仪,可保持最佳分辨率,有助于降低总体测量中的噪声。该设备还具有先进的缺陷分类功能,允许用户区分真实警报和错误警报,从而优化总体产量。此外,它还包括功能强大的可视化软件,可简化和加快缺陷审查和分析,同时监控产品和过程的可变性。最后,TENCOR Spectra CD-XT得到了KLA着名客户支持的支持,KLA提供了出色的服务和技术帮助,以确保系统达到最佳状态并持续很长时间。对于任何希望确保最高质量和产量的半导体制造商来说,这一单元是一个理想的选择,同时可以显着节省成本。
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