二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #9308718 待售

KLA/TENCOR Spectra CD-XT是为半导体制造而设计的综合性掩模和晶圆检测设备。该系统包含晶片级、光源和传感器封装,用于高分辨率成像,用于检测掩模和晶片上的缺陷。该单元的核心是KLA高性能逐行激光照明，能够对亚纳米分辨率的缺陷进行高分辨率的实时分析。该机针对先进技术进行了优化，如多层检测、金属线检测、工艺控制等。自动检查过程有助于提高流程的收敛度和生产率,同时缩短周期时间。该工具有一个标准配置，由四个摄像头和两个激光光源组成，可提供晶圆的广泛覆盖。该资产最多可容纳8个摄像头和3个激光光源。该模型有两种特征提取算法,可用于检查1-D、2-D或3-D曲面,以及包括类型、位置和大小在内的缺陷特征。KLA Spectra CD-XT还提供高级计量和缺陷分类功能，如特征匹配和切片。创新的特征提取功能使人们能够检查亚波长结构，包括为3D结构建造的结构，从而能够更准确地识别模式缺陷。此外，设备还具有综合分析和报告环境，包括数据分析、质量控制和过程监控。这允许用户监视、控制和分析流程流,并快速识别和解决问题。该系统包括一个用户友好的界面，允许用户轻松地控制单元，并对晶片应用进程。TENCOR SPECTRA CD XT是一款功能强大的掩模和晶圆检测机，可容纳多种工艺和技术。通过提供先进的计量和缺陷分类，该工具旨在提高检测缺陷的性能和准确性。这有助于确保更高的产量和质量的集成半导体电路。