二手 KLA / TENCOR Spectra CD-XTS+ #9263050 待售

KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体制造商测量晶圆或模具上的物理参数。当测试通过用户界面进行时,通过向用户提供反馈,进一步实现计量,从而在晶圆测试和测量过程中实现实时流程调整。KLA Spectra CD-XTS+包括电子束柱、光学传感器、软件控制等几个集成组件，从测试的半导体特性获取高分辨率图像和详细的物理参数。柱中的光束偏转由一组X-Y坐标控制柱控制，该柱还与功能强大的数据采集处理器（DAP）集成在一起，允许非常快速的数据捕获。柱的X-Y运动允许在极小面积的晶片或模具表面以高分辨率测试物理参数。TENCOR Spectra CD-XTS+光学系统包括一个CCD相机，它捕获测试区域的图像，然后再送到处理单元。该处理单元由一台运行专用软件算法的功能强大的计算机组成，该计算机将获取的原始图像夹在一个统一的数据图中，以便进一步分析。使用此数据图,软件可以使用几种专用算法来计算各种关键测量值,并确定性能随时间推移的趋势。这样就可以对潜在的工艺变化或不一致情况进行高水平的质量控制和详细分析，否则常规测试方法可能会忽略这些变化或不一致之处。此外,Spectra CD-XTS+还包括一个专用软件驱动的激光线路扫描（LLS）,用于在空间上定位晶圆上的结构,并捕获其详细的物理参数,如厚度、倾斜角、深度或结构之间的距离。最后,它还包括一个完全可编程的检查单元,可以快速识别和报告任何缺陷,从而使用户能够快速采取纠正措施或启动流程优化。总体而言,KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+是一台功能强大、用途广泛的晶圆测试和计量机器,能够提供一整套详细的物理参数,同时结合反馈以改进过程控制。KLA Spectra CD-XTS+凭借其先进的光束控制、检测和数据处理能力相结合，是任何半导体制造工艺的绝佳选择。