二手 KLA / TENCOR Spectra CD #9248732 待售

KLA/TENCOR Spectra CD是一种由KLA创造的掩模和晶圆检测设备。它旨在快速准确地检测掩模和晶片中的缺陷，从而能够高效制造集成电子电路。KLA Spectra CD系统使用全场检测来识别和分析光掩模和晶圆表面的缺陷。全场检查提供了被检查表面的极其详细的图像。它还能够检测平面缺陷和三维表面不规则性。该装置能够从不同的照明角度捕捉图像，进一步提高缺陷检测精度。TENCOR SPECTRACD可以处理多种基材，包括硅片、硬接触掩模以及聚酰亚胺或PDMS等有机材料。为达到最高水平的辅助检测，该机采用散射法、光谱法和散射成像相结合的方法，对晶圆或掩模表面进行高精度分析。该工具能够检测尺寸小至40 nm且对比度差小于.003的缺陷。除了缺陷检测能力外，SPECTRACD资产还能够分析晶圆或掩模表面的整体精度和形状。此过程有助于确保所生产的掩模和晶片质量最高,并且在用作集成电路的一部分时能够达到最佳性能。该模型还能够分析底物和顶层之间的折射率差异，帮助识别否则会被忽视的缺陷。它还能够检查多层的纤薄材料,从而能够检测掩码或晶片中否则无法检测到的错误。KLA/TENCOR SPECTRACD设备极易使用，可以快速设置并准备使用。该系统还包括一套高级分析工具，使用户能够快速准确地分析检查结果。KLA SPECTRACD单元已被广泛用于确保集成电路的高效生产。它被广泛认为是最可靠和最全面的面膜和晶圆检验系统之一，有助于确保高质量的芯片以及时和具有成本效益的方式生产。