二手 KLA / TENCOR Spectra CD #9251386 待售

KLA/TENCOR Spectra CD是一种掩模和晶圆检测设备，提供最高级别的自动化、集成缺陷检测和缺陷分类。它提供三维表面和迭加计量，缺陷成像和审查，抵抗剖析和系统缺陷分类。该系统旨在帮助掩模车间和集成设备制造商（IDM）提高产量,同时最大限度地减少检查掩模和晶片所需的人力资源。KLA Spectra CD单元可实现晶片或掩模的精确、自动对准,从而获得最佳效果。此对齐方式包括自动缝制多个图像,以确保能够准确识别缺陷,无论其确切位置如何。此外，机器可以在非常低的阈值下检测和分类缺陷，允许在其分析中达到最高精度。该工具使用基于视觉的自动检测和三维分析技术来测量和分类掩模和晶圆表面的缺陷。利用先进的滤波器和自动化工具,资产可以快速识别掩模和晶圆表面上的颗粒、空隙和线缺陷。一旦发现缺陷，就可以将其分为不同的特征类型，如剥离和变形等，从而对给定基板上的缺陷类型有完整的了解。此外,TENCOR SPECTRACD模型还提供自动抗蚀剂轮廓测量和比较功能。这允许用户测量和比较不同层的厚度，从而提供无价的信息来优化流程和提高产量。该设备还配备了先进的柔性成像技术，包括epi、暗场和明场能力，使用户能够真实地直观地表示面具和晶片上正在发生的事情。KLA SPECTRACD系统与其他系统集成，如操作和过程控制系统，以确保更高水平的自动化和一致性。它还支持完整的缺陷历史跟踪和报告,以便随着时间的推移跟踪过程结果,进一步提高产量优化。总体而言，SPECTRACD是一个令人印象深刻且功能强大的掩模和晶圆检测装置。凭借其高度先进和自动化的基于视觉的检测和3D分析功能,以及灵活的成像技术,它提供了尽可能高的产量改进和缺陷识别。此外,它的自动对齐、缺陷分类、抗轮廓测量和集成功能使其成为寻求提高产量和一致性的任何掩模公司或IDM的理想选择。