二手 KLA / TENCOR STARlight 301 #116791 待售

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ID: 116791
Inspection system, parts system (1) Channel KT9X Missing back-end inspection station Installed Can be inspected.
KLA/TENCOR STARlight 301是一款功能强大、用途广泛的掩模和晶圆检测设备,设计用于检测集成电路和光掩模。KLA STARlight 301系统兼具晶圆和掩模检查功能,使其成为检测缺陷、识别零件编号和标签以及获取统计数据的理想选择。该单元具有全方位的镜头大小和现场大小选项,即使正在检查复杂的功能,也能提供高水平的速度和准确性。其先进的成像能力和内置的特征库支持对更精细、更复杂特征中的缺陷进行检查。此外,KLA软件允许用户根据自己的具体应用量身定制检查结果。这台机器的设计可以容纳不同的图桉、基板和特征尺寸。免费软件包提供了充分利用该工具所需的工具,包括晶圆对齐、缺陷评估和数据报告工具。TENCOR STARlight 301还提供在线和离线编程功能,以及用于快速可靠设置的高级对齐解决方桉。STARlight 301为用户提供了多种检查技术。从高速截面到超高放大成像,此资产能够检测小缺陷、小至15 nm的特征以及半导体行业中其他至关重要的特征。TENCOR高级算法提供准确可靠的结果,然后以易于阅读的格式报告。分析引擎允许您以各种格式查看数据,便于快速决策,并存储行尾验证结果以供将来使用。综上所述,KLA/TENCOR STARlight 301提供了先进的掩码和晶圆检测功能。它具有一系列的拍摄和现场大小,支持各种基材和特征大小的快速和准确的检查。它的高级映像功能和软件包为用户提供了最大限度地发挥模型潜力所需的工具。此外,该设备还能够检测小缺陷、小至15纳米的特性,并提供在线或离线编程功能。
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