二手 KLA / TENCOR STARlight SL3 URSA #9067571 待售

KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA Mask&Wafer Inspection Equipment是由半导体设备制造商KLA制造的超分辨率成像和分析系统。该单元设计用于对晶圆、掩模和其他半导体元件进行可靠、精确、高分辨率的检测和分析。KLA STARlight SL3 URSA是以前STARlight平台的增强版本，具有改进的光学性能。其光学机器提供0.6微米的最大分辨率，使得能够在大面积上进行次埃表面高度测量。它还具有最先进的照明工具，提供高强度的均匀照明，以改善对比度和减少噪音。该资产具有集成的模块化磁头。这允许根据客户的要求进行多种配置和灵活的设置。这个模块化的头还包括一个先进的实时内切模型，具有面向用户的界面。这种内切设备可以测量各种晶圆和掩模的缺陷，由此产生的图像可以从不同角度观看。该系统的集成分析软件用户友好，使用方便。它能够分析各种结构和口罩，例如所谓的"反向打印"特征。该软件还允许从一个公共数据库分析多材料成像系统，如Profilometry和Multilaer inspection。TENCOR STARlight SL3 URSA还配备了强大的显微镜设备。它配有分辨率为0.2微米的大功率物镜，适合检查遮罩层接口或不规则性。综合面罩检测机还能够检测诸如颗粒污染、挖掘和残留等缺陷。STARlight SL3 URSA是一种易于设置和操作的紧凑工具。它具有坚固的机械设计,以及可可靠运行的无震平台。它还附带了一系列高级自动化工具，如自动聚焦能力、可编程扫描和多重参数调整。KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA是半导体行业高效、经济高效的晶圆和掩模检测资产。其出色的光学性能和强大的软件使其成为高精度检测的绝佳选择。它可靠可靠，确保准确可靠的结果。