二手 KLA / TENCOR Starlight SL3 UV #293815985 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3 UV是一种功能强大的高科技晶圆和掩模检测设备,用于成像和自动检测图样基板层。它具有5微米的高分辨率成像能力和高达每小时30晶圆的自动亮场/暗场检查速度。KLA Starlight SL3 UV提供了一套强大的图像采集技术,充分利用带电耦合器件（CCD）相机和先进照明技术的最大潜力。它包括同时的明场和暗场成像，用于检测和测量小缺陷、缺陷和不均匀性。利用其先进的成像技术，系统创建了不同布局层和模式结构的系统概述，让用户快速分析比较。在检查能力方面，TENCOR Starlight SL3 UV通过自动光学探测（AOP）提供了先进的自动光学检查（AOI）能力。通过这种AOP技术，用户可以以不同的细节和分辨率级别定义模式的区域，然后快速扫描这些区域进行深入的分析和比较。该单元还可以生成带有统计分析的详细掩码报告，以供进一步分析。在性能方面,Starlight SL3 UV极其可靠,并提供令人印象深刻的一系列功能。其先进的照明技术可确保高对比度和均匀的照明，从而获得准确可靠的结果。凭借高速扫描能力，机器可以快速检测到小缺陷和变化。此外,它还提供多种功能,包括高分辨率成像、自动暗场和亮场成像、自动光学探测（AOP）技术以及先进的统计分析。最后，KLA/TENCOR Starlight SL3 UV提供了必要的工具和功能，以快速检查和比较图桉层。其先进的成像和自动化技术使用户能够检测和测量小缺陷、缺陷和非统一性。此外，它的高分辨率成像、先进的照明、自动光学探测以及带有统计分析的详细报告确保了准确可靠的结果。