二手 KLA / TENCOR Starlight SL3 #293815984 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3是一种先进的掩模和晶圆检测设备,可提供无与伦比的精度和吞吐量,满足广泛的应用要求。该系统结合了先进的光学、晶片生产和缺陷检测技术,在生产和研发环境中提供卓越的性能和可靠性。KLA Starlight SL3单元具有三级光路-前端和两个中间级，提供更高的灵敏度、效率和动态范围。光路包括一台高精度的光学对准和传感机器，可准确定位和检查掩模和晶片表面的缺陷。该工具包括具有磁性线性和旋转编码器的双弯曲级以及动态自动聚焦技术。为了有效检测缺陷，TENCOR Starlight SL3资产采用了最先进的图像处理算法和高分辨率频谱滤波器。该算法最大限度地提高了图像质量，最大限度地减少了噪声，从而提高了准确度和重复性。该模型可容纳多达2000万像素的分辨率图像，可用于检测、测量和分析掩模和晶圆表面的缺陷。该设备的自动化缺陷检测和分析功能允许对掩模和晶片缺陷进行快速而可靠的分析。Starlight SL3的软件将数据解释为易于理解的检测和识别缺陷的图形显示。该界面为自动缺陷分析提供了简化的工作流,从而减少了周期时间、增加了吞吐量并减少了缺陷审查时间。KLA/TENCOR Starlight SL3系统采用低功耗架构构建,平均耗电量仅为19瓦。该单元具有五分钟的定向和调整时间，以及令人印象深刻的600 ms冷却时间。此外,先进的硬件和软件集成确保了与大多数行业标准制造工具的最佳机器性能和兼容性。KLA Starlight SL3是任何需要精确有效的掩模和晶片检查的应用的绝佳选择。其先进的光学、晶片生产、缺陷检测和图像处理功能可实现对掩模和晶片的卓越性能和可靠的分析。因此,该工具的低功耗体系结构和行业标准兼容性使其非常适合各种检查任务。