二手 KLA / TENCOR Starlight SL303 UV #9237964 待售
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已售出
ID: 9237964
晶圆大小: 6"
优质的: 2006
Reticle inspection system, 6"
Laser currently nonfunctional
Boards removed:
710-057306-00 XC MSI Board
710-058894-00
710-058895-00
Scan board: 710-034908-01AC
RF Bench: (3) 740-058488-00
0362816-001 He-Ne Laser
(3) Reticle VLSI, 5"
2006 vintage.
KLA/TENCOR Starlight SL303 UV是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在检测和评估半导体器件上的缺陷。该系统具有广阔的视野和高分辨率,能够高精度地检查掩模和晶片基板的所有特性。该装置利用紫外线使其能够检测最小的缺陷和颗粒污染物。SL303 UV使用专有的先进光学和算法,结合计算机控制的电动舞台和激光导航技术,快速准确地检查大片基板。该机能够侦测小至0.5微米的特徵,也有能力检查三层面膜、纤薄层和其他传统成像技术难以侦测到的基板。高分辨率相机以高达10000 x 10000像素的分辨率捕捉图像的每一帧。SL303紫外线还具有许多重要的安全和环境特性。它设计用于在洁净室环境中操作,并配有安全模式控制工具,在发生任何资产故障时都可以激活。对其激光安全参数进行严格监控维护,确保操作员操作安全。用户友好的控制界面使得设置检查任务变得容易,而集成的报告功能则可以跟踪检查结果。这有助于确保正确和可重复的测试结果。SL303 UV还有一个集成的弹出器模型,它会自动弹出有缺陷的零件,以确保它们不会被送到生产。KLA Starlight SL303 UV是一款先进可靠的掩模和晶圆检测设备,提供高精度和重复性。它结合了高分辨率光学器件、自动化控制系统和集成的安全功能,使其成为精确检测的理想解决方桉。
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