二手 KLA / TENCOR STARlight SL437 #9115268 待售

KLA/TENCOR STARlight SL437是一种先进的高端掩模和晶圆检测设备,旨在以卓越的速度执行准确可靠的图像。该系统采用先进的光学单元，具有全方位的数字成像选项和强大的图像分析能力，以确保检查过程的准确性和可靠性。SL437的模块化设计为每个客户的定制需求提供了灵活性。该机器的成像功能基于双层激光和25 nm狭缝孔径光学器件,使其能够查看最大的视场以进行晶圆和掩模检查。SL437上的成像传感器基于800万像素CMOS全画幅成像传感器和1.8万像素16位彩色CCD成像传感器。有了这些,SL437可以以每秒320张图像的速度进行高精度的检查。SL437的高级图像分析功能使其能够高可靠性地检测和定位缺陷。缺陷检测算法基于对缺陷的高级决策分析，实现了特别准确可靠的检测。此工具包括强大的模式匹配功能,使用户能够检测特定类别的缺陷,如桥接或使用先前的模式打开。该SL437设计用于具有缩放能力和零校准的多班作业。缩放设置使用户能够自动将检查参数调整为各种类型的晶片或掩码,从而确保可重复检查。此外,利用虚拟示例方法,SL437资产的用户可以从单个图像调查整个晶圆或掩码,从而实现快速的缺陷检测过程。KLA STARlight SL437模型可提供高性能和可靠性,用于晶圆和掩模检查。利用先进的数字成像光学设备，该系统可进行每秒高达320张图像的检测，轻松匹配现代生产设施的吞吐量。图像分析算法提供了强大的模式匹配和缺陷定位功能。此外,SL437还具有内置的缩放和虚拟样本功能,使用户能够将检查性能快速扩展到多班操作。