二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #293594484 待售
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KLA/TENCOR SP1 Classic是一种为半导体工业设计的掩模和晶圆检测设备。它是一个全自动检测平台，利用先进的成像和光学计量技术检查光掩模和晶片的缺陷。该系统使用两个独立的通道来实现晶片和掩模的同时检查,从而实现更快的检查过程。KLA SP1 Classic具有先进的成像单元,利用高分辨率数码CCD相机和先进的光学技术对晶圆和掩模进行成像。该机器设计用于检测各种缺陷,从缺少模具、工艺缺陷和针孔,到更清晰的特征（如线宽和接近效果）。该成像工具与高级分析软件相结合，用于识别和分类缺陷。软件还可以检测复杂的模式和形状,以识别更难以检测的特征。资产配备了样品处理的多个自动化阶段，包括一个可以检测电气缺陷的专有电气映射模型。设备还包括用于自动样品处理和装载的输送机系统，以及用于快速晶片检查的综合晶片运输装置。集成的运动控制机使摄像机和采样台都能实现精确、可重复的运动，从而实现高精度和可重复性。用户界面是通过直观的图形环境提供的,它可以轻松控制工具参数和功能,以及访问详细的资产信息和报告。此外,KLA Remote Service还提供远程支持和诊断,以简化用户体验。该模型能够每小时检查100,000多个晶片，使其成为检查各种缺陷的强大而可靠的工具。该设备还被设计为易于集成到现有的半导体工艺中，使其成为各种应用的理想选择。TENCOR SP 1 CLASSIC是任何需要快速、准确和可靠地检查晶片和掩模的任务的理想选择。
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