二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211403 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic是为生产和研发应用而设计的掩模和晶圆检测设备。它为要求最苛刻的缺陷检查应用提供了高分辨率的直接视图检查、自动缺陷审查和光学在线计量的组合。SP1系统提供了可调成像设计，允许快速准确地获取大小、放大倍率和重复率各异的图像。成像设计包括全方位的数字图像和软件组件，如先进的光度、辐射和图样识别算法，以及一个多点照明单元。SP1机还提供高达1.0微米间距的高分辨率成像，足以查看临界尺寸（CD）结构，以及成像低放大倍数缺陷。此外,SP1工具能够以高达每秒2000帧的速率捕获图像,并且可以配置为在24小时内对整个晶圆成像。SP1资产的成像设计得到了前沿缺陷审查模型的补充,该模型采用了强大的视觉算法、复杂的数据分析工具和复杂的自动分类设备。这一缺陷审查系统有助于对各种缺陷类型进行自动检查，包括过程引起的颗粒、开口/沟槽缺陷和PSM。缺陷查看单元还可以配置为合并用户定义的测试，如自动BGA连接测试，或简单的像素比较测试。此外,SP1机器采用集成的光学在线计量工具,可全面测量晶圆轮廓形式及其相关的临界尺寸。此计量资产能够测量各种关键尺寸,包括覆盖、线宽和间距、临界区域大小、临界层厚度和线缘粗糙度。最后，SP1模型还包括一套高级软件工具，简化了图像数据的采集、处理和存储。这些软件工具包括详细的缺陷分类分析、自动缺陷标记和修复功能,以及复杂的光度和辐射成像选项。总体而言,KLA SP1 Classic是一种先进的掩模和晶圆检查设备,为各种缺陷检查应用程序提供了广泛的功能。SP1设备具有可调成像设计、高分辨率成像、自动缺陷审查系统和光学在线计量功能,非常适合需要全面缺陷检查解决方桉的生产和研究环境。