二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9224666 待售
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已售出
ID: 9224666
优质的: 1998
Wafer surface analysis system, 12"
Operating system: Windows NT
Laser: Ar 488 30 mW
SECS / HSMS: SECS-1 (Emulex)
BROOKS FIXLOAD 25TM Handler
P/N: 013077-211-20
Single FOUP, 12"
Handling: Back chuck (Pack)
Option: RFID ASYST ADVANTAGE PB 90M (PMQATR9000)
1998 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP1 Classic是一款高度精确的增产设备,旨在通过自动掩模和晶圆检测过程最大限度地提高集成电路(IC)的产量。该系统的先进技术通过识别缺陷和设备性能差提高了IC产量。KLA Surfscan SP1 Classic有七种产品,包括面罩和晶圆检验工具、晶圆测量和检验系统以及其他生产工具。所有这些组件协作以简化和增强IC制造。例如,其掩码检查单元使用自动缺陷检测算法快速识别IC掩码模式中微小的、生命周期衰减的缺陷。它还配备了一种用于测量对准精度的先进光学机器,以检查错位和迭加误差。TENCOR Surfscan SP1 Classic的晶片检测系统利用尖端光学和算法来检测和表征所有晶片层的半导体缺陷。扩展的直接晶圆扫描使工具能够快速检测颠簸、粒子和碟形故障,它们是提高产量问题的重要指标。资产还具有自动缺陷审阅模型,该模型可以标记、优先排序和审阅缺陷事件。KLA其他生产工具使用户能够优化IC产量。例如,WaferCap工具测量和比较晶片上所有IC芯片的关键IC参数。同时,YieldQ软件平台提供强大的分析和宏控制功能,帮助IC制造商充分利用其生产过程。Surfscan SP1 Classic的复杂诊断功能可确保提高生产产量,帮助客户识别和修复可能导致产量下降的缺陷。通过检测和解决看不见的问题,KLA/TENCOR Surfscan SP1 Classic提高了生产吞吐量,降低了制造成本,并提高了客户满意度。
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