二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9410848 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic是一种通用的高精度掩模和晶圆检测设备,设计用于半导体器件制造中关键工艺步骤的过程控制、产量改进和缺陷监控。该系统提供快速、自动化的数据驱动运行时分析产量、流程性能和收益趋势,从而能够快速、准确地做出关键决策。该单元与流程工具和生产数据库集成,以实现更高的生产率,从而允许最终用户优化流程并缩短其产品周期。KLA SP1 Classic在经过光刻、蚀刻、沉积和晶片涂层等各种生产步骤时，使用先进的成像技术检查晶片和掩模。它包括一个彩色相机，它可以捕捉多个图像的表面高达10,000倍的放大倍率。这使得机器能够检测到最小的缺陷,否则这些缺陷可能是无法检测到的。TENCOR SP 1 CLASSIC还有一个嵌入式AutoFocus工具，允许精确测量晶圆和掩模。此资产可以测量地形、覆盖检查和对准、电阻率剖面等。此外，该模型能够识别不同大小的重复结构和结构，使其能够检测到传统成像设备可能难以发现的晶圆缺陷。SP1 Classic还提供了一个软件平台,用于捕获、分析和比较从掩码和晶圆检查中收集的数据。该平台允许用户通过具有自动缺陷检测、三维显示、高分辨率图像增强、频谱分析和高级数据挖掘算法等高级功能的直观用户界面访问所获取的图像。软件可根据特定需求定制和定制,确保数据始终准确和最新。最后，KLA/TENCOR SP1 CLASSIC是一种有效可靠的检测系统，具有很高的精度和精度。通过与其他过程工具集成,此单元允许最终用户实现提高的产量和过程效率,从而降低产品周期和生产成本。