二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293814743 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI是一种用于检查用于制造集成电路（IC）组件的半导体晶片和掩码质量的掩模和晶片检测设备。该系统使用专有的超精确目标以及先进的光学和高速成像技术来检测晶圆或掩模材料的关键层中的小缺陷和杂质。KLA Surfscan SP1-TBI可以快速准确地检查晶片和掩码,而无需手动抽查。设备会自动扫描整个晶片或掩码是否有缺陷,并可以隔离和测量最小尺寸为0.5微米的单个特征。Surfscan避免了与手动检查程序相关的人为错误,将晶片或掩码的处理成本从2小时降低到10分钟。该机器包含一个精密的机器人级，直接连接到晶片上，引导它进入高分辨率检查的目标。该工具的光学器件的最小分辨率可降至0.5微米,从而检测到其他光学检查系统未发现的缺陷。此外，资产配备了一个综合粒子计数器，有助于根据定量测量将缺陷分为三类。TENCOR Surfscan SP1-TBI提供了包括集成暗室在内的多项附加功能，使操作员可以在紫外线下查看晶圆或掩模；这有助于检测可见光谱中不可见的小划痕或微粒。该模型还有一个校准模块，使用户能够在每次检查前对光学器件进行完美校准和对准。总体而言，Surfscan SP1-TBI是一种先进的面膜和晶片检查设备，能够高速检查晶片和面膜。该系统利用极其精确的光学和精密的成像技术,能够检测材料层中的小缺陷和杂质,大大减少了耗时的手动检查,并提供了高精度的结果。