二手 KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #9312074 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBI是专门为先进半导体技术节点设计的前沿掩模和晶圆检测设备，如10纳米（nm）及以下。该系统结合了卓越的缺陷检测能力和业界领先的吞吐量，以确保最具挑战性的掩模和晶圆检测成为可能。该单元是一个"一体"解决方桉,包括功能强大的Surfscan扫描头、表面映射显微镜、获得专利的清洁过程、光学对准工具以及控制和接口软件,以最大限度地提高性能。该机提供卓越的表面成像和缺陷检测，以满足最具挑战性的掩模和晶圆检测要求。Surfscan扫描头是一种精密设计的仪器，设计用于要求苛刻的掩模和晶圆检查任务。它提供高吞吐量、低延迟和低噪声成像。它还提供卓越的分辨率、大视野和自动缺陷识别技术。扫描头能够扫描和测量光掩模结构和晶片。表面映射显微镜允许对晶圆和光掩模上的测试结构进行详细的审查和分析。显微镜提供了一个大的视场和优越的放大，能够快速检测污染和缺陷。显微镜棱镜还允许进行详细的模式识别和图像处理，以提高缺陷检测精度。获得专利的清洁工艺允许去除光掩模或晶片表面的小缺陷，而不会损坏生产模式。这些过程涉及精确的清洁技术和使用先进的粘合材料，这些材料可以清洁表面而不会损坏特征或破坏整个生产模式。该工具还包括专门为提高资产性能而设计的光学对准工具。这些工具使光学器件能够精确对齐,以确保对模型进行正确校准,并针对所有操作进行最佳对齐。控制和界面软件提供了一个全面的设备界面，允许用户控制系统及其流程。界面还提供对实时状态信息和数据的访问,为用户提供有关设备性能的最详细和最新的信息。KLA Surfscan SP1-TBI是最具挑战性应用的终极面膜和晶圆检测机。该工具具有强大、高通量的扫描仪头、显微镜棱镜、清洁过程以及控制和接口软件,是一个全面的解决方桉,可最大限度地提高性能并提供最高级别的芯片产量和质量。