二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #293609839 待售

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ID: 293609839
优质的: 2010
Inspection system Wavelength: 355 nm 2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP是一种用于检查加工过的半导体晶片和掩模的掩模和晶片检验设备,用于检测任何缺陷、污染或不规则性。它通过使用其先进的硅成像、缺陷审查和分析软件提供高级缺陷检测功能。采用最先进的技术,通过将软件、光学设备和硬件全部集成在一起,用户能够在整个生产过程中有效地实现更高的产量和可靠性。KLA Surfscan SP2 XP系统为用户提供具有高级缺陷检测功能的一系列功能,如背面检查、彩色成像、显示和判断缺陷分类、对比分类、子像素充电和计算,以及完全集成的缺陷审查单元。这使用户能够检测和查看晶片正面和背面的所有缺陷以及2D和3D切片中的掩码。该机器每个周期最多可容纳8张晶片打印,并具有高功率X射线源,通过其自动步进和重复功能提供用户友好的操作,从而实现统一的图像采集,并提高了数据传输能力。此外,该工具采用明场、暗场和近场扫描模式,使用户能够获得最高的光学分辨率,同时以最小的耀斑获取高对比度图像。TENCOR Surfscan SP2 XP资产的掩码和晶圆检测能力通过其多级激光扫描模型与平面内扫描器相结合,进一步增强。通过将这些技术集成到设备中,用户能够捕获非常精细的细节,检测晶圆表面的潜在污染或不规则性,并通过全自动作业准备和分类快速识别缺陷。此外,该系统还有一个综合环境分析和缺陷故障分析功能,这是土地检查软件包的一部分,它提供了关于样本被检查的环境的详细信息,并提供数据分析和报告整个检查过程中发现的缺陷。综上所述,Surfscan SP2 XP为用户提供了具有强大特性和功能的顶级晶片和掩码检测单元,使他们能够高效、准确地检测和查看晶片正面和背面的缺陷以及具有高光学分辨率的掩码。这台机器为用户提供了最高水平的检测能力,其中包含的功能使其非常适合高质量的晶圆和掩模制造。
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