二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9215848 待售

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ID: 9215848
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Particle measurement system, 12" 2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP是一种掩模和晶圆检测设备,利用先进的成像算法提供卓越的图像质量和准确性。它旨在检测其他掩模和晶圆检测系统不易检测到的缺陷、污染物和其他缺陷。它设计用于检查300 mm和200 mm直径的掩模和晶片,从而实现快速和精确的成像能力。KLA Surfscan SP2 XP利用两种光源:一种单色氙光源和一种窄光谱汞光源,使系统能够检测到各种缺陷、污染物和其他有害缺陷。该单元还可以检测晶片或掩模的明暗区域的缺陷。此外,可以调整机器的分辨率和信噪比,以确保更高精度的成像。TENCOR Surfscan SP2 XP拥有高效且设计良好的光学工具。它包括两条独立的光路,一条用于氙光源,一条用于汞光源。该资产还具有先进的成像处理器和软件,能够快速高效地检测缺陷和粒子。该模型具有广泛的聚焦深度,适合大小结构。Surfscan SP2 XP配备了内置真空卡盘,可方便安全地放置掩模或晶片。它还提供了多种图像捕获选项,允许并排比较或全场成像,以及定义感兴趣区域的能力。设备的灵活性和易用性允许快速、方便地设置和使用。此外,其先进的软件使系统在自动化方面特别高效。该设备旨在与制造环境中的现有成像设备集成,从而实现完整的串联检查过程。KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP通过其先进的成像算法提供了卓越的性能和可靠性,使其能够检测到广泛的缺陷和缺陷、污染物以及其他有害功能。其先进的光学机器和图像处理器提供最高水平的成像质量,以及灵活性和易用性,以确保高效和准确的检查。KLA Surfscan SP2 XP具有卓越的成像能力,是确保掩模和晶片产品质量和可靠性的重要工具。
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