二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293602599 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款高度先进的掩模和晶圆检测设备。KLA Surfscan SP2是一个功能强大的工具,用于在设备制造过程的早期阶段识别缺陷,从而能够在进行更昂贵的处理之前采取纠正措施。TENCOR SURFSCAN SP 2先进的成像技术、照明以及计算强度很高的检测和分析算法使其能够检测到太小而肉眼看不到的缺陷，或者可能被其他特征遮蔽或隐藏。这使操作员能够准确识别缺陷,包括传统的光学、电气或声学方法可能遗漏的缺陷。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2配备了同时使用亮场和偏振器成像技术的成像系统，以提供高级视觉检查所需的详细程度。它达到高达3.2µm的图像分辨率，并提供清晰易解的插图。此外,该单元还包含晶片和掩模检查灯以及一套软件工具,使操作员能够测量、比较和分析晶片或掩模两侧的特征。KLA SURFSCAN SP 2的SPI算法，加上各种可选择的照明设置，都配备了帮助检测各种尺寸的边、角和线缺陷，包括那些可能在运动上模煳的缺陷。SPI支持本地化图像分析和测量,而设置提供了根据每台设备的特定要求调整计算机的灵活性。晶圆和掩模检查过程通过简化数据收集和分析的各种自动化过程得到进一步加强。可以将工具设置为自动按照模板格式进行数据分析和设备检查,包括选择最适合检查的部分、设置最合适的检查设置以及提醒操作员注意缺陷的方法。SURFSCAN SP 2还有助于通过其在线系统传输和存储数据,从而能够快速校对和比较来自多个设备的结果。最后,该资产与行业标准面罩和晶圆生产系统完全兼容,以便于集成到现有的生产过程中。总体而言,Surfscan SP2是在设备制造过程的早期阶段识别缺陷的绝佳工具。其先进的成像技术和精确的缺陷检测能力为操作员提供了一个宝贵的工具，用于快速高效地检查晶片和掩模。