二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293603304 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种最先进的掩模和晶片检测设备,旨在精确检测半导体掩模和晶片表面的缺陷。它具有业界领先的光学、专有算法和高精度电子设备,可以快速识别和测量最具挑战性的掩模和晶片缺陷。KLA Surfscan SP2系统结合了宽带扫描成像（BSI）和边缘对比成像（ECI）两种互补检测技术。BSI是一种高分辨率全场远程中心成像技术，它以微观分辨率捕获晶圆或掩码的整个2D图像。它提供了对小特征缺陷的灵敏检测，允许精确测量和识别具有复杂背景的模式。ECI通过利用小振动和/或横向运动来精确测量超小型结构中的边缘对比度,重点研究已确定的缺陷特征。这种技术允许精确定位和测量个别缺陷，并允许精确量化缺陷类型和大小。该单元的设计具有最大的灵活性,可配置用于各种应用,包括光电测量、CD-SEM和间隔器成像、临界尺寸测量和缺陷检查。全自动机器允许一致和高效的检查过程,用户可以自定义各种晶圆和掩模类型的缺陷检测标准。TENCOR SURFSCAN SP 2提供高级成像和显示功能,如高放大光学成像、本地化检查和自动特征识别。它提供了具有复杂缺陷识别算法的动态缺陷检测标准，允许用户选择最合适的检查策略和自定义设置。通过自动缺陷分类、手动审查和模具级缺陷标记,该工具提供了高效而全面的检查和缺陷审查过程。资产还具有旨在简化缺陷检测过程的各种功能,例如具有设备级数据收集功能的自动测量模型,以及自动缺陷跟踪和检查后分析功能。这些功能允许用户缩短检查周期并快速识别晶圆或掩模上的潜在缺陷。总之，TENCOR Surfscan SP2是为半导体行业人士设计的先进、通用的检测设备。它提供了多种特性和功能,使其非常适合检测和分析微小的掩模和晶片缺陷,允许用户检测和测量即使是最具挑战性的半导体表面上的缺陷。