二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是来自KLA Corporation的先进、自动化的掩模和晶圆检测设备。该系统旨在确保制造先进电子设备的每一步都尽可能接近完美，为极其敏感和复杂的部件提供最大精度。该单元的核心是其ProTEG软件，该软件使用先进的二维成像技术来检测模式到纳米级的缺陷。其"多通道光谱成像"（MCSI）技术利用多光谱带检测超出常规光学系统极限的缺陷。它与先进的模式识别算法协同工作,以检测最困难的缺陷,否则这些缺陷将被遗漏或未被发现。利用这一技术，SP2还对覆盖层、临界尺寸（CD）和电气缺陷进行自动检查。其获得专利的暗场照明（DFI）技术确保检测电路模式中极其微弱和狭窄的特征。通过分析电导率和电阻率，SP2可以识别潜在的电气缺陷，包括桥接、短路和开路电路。SP2还配备了多种晶圆检查和掩模检查功能，包括ScanEtch Plus （SEP）和Wafer Edge Inspect （WEI）。SEP是改进关键和非关键基板加工的综合多基板余量。WEI检查晶圆的计量，以及各种类型的缺陷，如划痕和污染。除了组件之外,SP2还配备了内置的用户界面,提供直观的控制、监控和机器设置。用户界面还允许在工具内定制掩码和晶圆检查策略，以及集成各种外部第三方自动化系统。综上所述,KLA Surfscan SP2为用户提供了最先进的自动掩码和晶圆检查解决方桉。它具有多种创新特性和功能,非常适合各种加固、精密的制造环境。