二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种掩模和晶片检测设备，设计用于快速准确地检测掩模和晶片。该系统利用先进的光学和软件来检查晶圆边缘和其他特征的均匀性和形状。自动调色板允许晶片处理和运输,具有独特的校准单元,可确保以最精确的形式处理每个晶片。该机器还支持行业标准的掩码到晶片传输,允许在处理大量掩码时实现最佳操作。该工具的光学子系统是一个两级配置，包括一个风冷脉冲氙气照明源和一个扫描CCD相机。该资产的光学器件设计用于提供掩模和晶圆表面的高分辨率成像。照明设计采用了扩散器和窄角遮罩模型，以确保均匀的照明，而可选的反反射滤镜则确保了正确的照明角度。设备的软件套件设计用于检测、分析和分级掩模和晶片中的缺陷。KLA Surfscan SP2利用一组算法来检测和评分各种缺陷，如颗粒、腐蚀、划痕和变形。该系统还提供了一个缺陷工具箱来定制设定点操作，以及统计过程控制（SPC）来分析掩码和晶圆检查过程的趋势。TENCOR SURFSCAN SP 2单元提供了可扩展性和灵活性,以满足各种应用程序的需求。可调光学机允许使用者调整视野，使小型和大型表面特徵都能够侦测和检查。该工具还包括晶片边缘确定资产，在定位晶片进行检查时提供额外的一层精度。SURFSCAN SP2是一种先进的掩模和晶圆检测模型。其先进的光学、软件套件和可扩展性使其成为掩码和晶圆检查应用的理想解决方桉。该设备设计优越，能够快速准确地检测和分级各种缺陷，为用户提供可靠准确的检测结果。