二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293625532 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是为半导体制造而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。该系统设计用于检测半导体半导体晶片、掩模和光掩模，具有高精度和重复性。KLA Surfscan SP2单元能够检测100纳米大小、空间分辨率小于1纳米的缺陷。它配备了6轴运动机械手，使机器能够同时检查晶圆上的多个点。TENCOR SURFSCAN SP2工具利用多种影像感测技术来侦测各种半导体掩模和晶圆的缺陷。这些技术包括光场成像、暗场成像和光学显微镜。Brightfield成像用于检测二进制掩码和晶片，而darkfield成像用于暴露特征和故障隔离。光学显微镜允许对有图样的半导体晶片进行缺陷检查。资产还配备了集成用户界面，允许用户轻松输入探测参数，选择测试参数，并为不同的图像类型设置显示范围。该软件还能够自动调整不同图像的测试参数以获得更准确的结果。此外,该模型还包括一种查看模式,使用户能够手动检查晶圆或掩码的可疑区域。SURFSCAN SP 2设备利用六轴运动机械手快速高效地精确扫描晶圆或掩模的多个点。该系统还允许用户在一次扫描中进行多次测量。此外，由于先进的空气管理机器，该装置的设计目的是尽量减少不同样品之间的交叉污染。KLA SURFSCAN SP 2工具设计为用户友好,为用户提供直观的图形用户界面（GUI）。GUI使用户可以轻松查看捕获的图像、设置警报和监视操作参数。资产还包括许多内置功能,使用户能够快速准确地分析缺陷,包括特征码分析和分类、故障隔离以及高级缺陷分析。总体而言，KLA/TENCOR SURFSCAN SP2是一种先进的掩模和晶圆检测模型，设计用于高精度和重复性。该设备利用多种图像传感技术来检测空间分辨率小于1纳米的缺陷，并利用6轴运动机械手和直观的GUI进行高效扫描和数据分析。