二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293643757 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一种用于测量横跨半导体基板的关键尺寸的掩模和晶圆检测设备。它结合了亮场和暗场成像能力，提供无与伦比的分辨率和准确性。该系统具有高分辨率光学单元,具有多种放大选项和角度。KLA Surfscan SP2能够成像尺寸达300毫米的样品,范围从紧密的线宽到大型复杂的模式,并提供最高级别的过程监控。TENCOR SURFSCAN SP 2中的光学机器设计为提供最高精度,具有广泛的景深,即使在复杂的模式中也能确保清晰的成像。高亮度光源确保了信噪比的最大效率，而优化的视场则为单个视场提供了出色的广角照明，即使在地形参差不齐的情况下也是如此。这使工具能够检测小缺陷或特征测量误差。Surfscan SP2中的高速自动对焦资产可以轻松地获取样品所有深度的特征的图片,包括紧密的线条图桉、通孔和接触孔,从而获得最大的精度。该模型具有多个点击工具集,确保客户无需手动调整即可容纳任何基板表面。此外,SURFSCAN SP 2还通过快速的图像采集速度和基于模板的智能工作流提高了工作效率。KLA/TENCOR SURFSCAN SP2通过其超高分辨率光学设备实现精确的CD（临界维度）测量。该系统的高级成像功能,如多个图像堆栈、延时成像和远场成像,提供精确的间隙测量,甚至可以检测到最好的CD违规情况。利用综合分析能力，除了自动化缺陷检测和识别引擎外，用户还可以保持质量和过程控制的最高标准。TENCOR Surfscan SP2设计为用户友好,可定制以满足特定的客户需求。它可以集成到任何现有的工具链中，其先进的图像分析能力为掩码和晶圆检查提供了完整的解决方桉。它具有简单、直观的界面和用户定义的自动化流程,可快速执行任务。KLA SURFSCAN SP 2是减少生产缺陷、增加成本节约的理想掩模和晶圆检验装置。