二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293745400 待售

KLA/TENCOR Surfscan SP2是一款高性能的掩码和晶圆检测设备，设计用于动态和缺陷检测应用。该系统采用创新设计,结合了先进的成像、测量和缺陷检测技术,帮助制造商准确识别缺陷并提供零件质量控制解决方桉。检查单位配备了高速彩色CCD图像采集机，能够快速成像掩码和晶片特征，数据采集高达每秒300像素。此工具还提供了一套自动化的清洁工具,可实现最佳的检查性能。该资产还能够检测亚微米缺陷，包括颗粒污染、临界尺寸缺陷和亚像素缺陷。成像传感器的分辨率可达4倍（按面积分解率）,可提供膨胀、收缩和对比度控制功能,使用户能够根据各种掩模和晶片类型定制成像参数。该模型功能强大的缺陷检测算法旨在识别多种类型的缺陷,包括打印迭加、颗粒污染和临界尺寸缺陷。算法还可以检测可能的异常，如三角缺陷、分辨率要求、涂料缺陷等。此外，该设备还配备了专用激光对准工具，用于调整图像并使其与材料几何形状对齐，提高检测精度。KLA Surfscan SP2还具有高度敏感的缺陷检测实验室,可用于模拟一系列材料条件和配置,并应用结果来识别潜在缺陷。该系统还包括许多用户友好的功能,如允许轻松访问特定工具和功能的自定义工具栏、便于故障排除的集成诊断工具,以及便于浏览应用程序的直观图形用户界面（GUI）。此外,该单元还提供无限的客户帐户管理功能,因此用户可以随时保存其工作并快速访问其项目。TENCOR SURFSCAN SP 2是一款功能强大的检测机，旨在帮助厂商快速准确地识别和解决缺陷。其强大的硬件和直观的软件使其成为满足各种掩模和晶圆检测需求的理想解决方桉。