二手 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293759533 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293759533
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Inspection system, 12"
EFEM
Carrier:
(3) Advantage SW CID, Phx, Shinko (Load port)
8 User-configurable LEDs to display the load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping: FOUP and detect wafer
Empty slots and cross-slotted wafer
Chamber:
Powder coat panels kit: 8"-12"
Vacuum option optical filter
Load port vacuum: Tripple, 12"
FIMS Application:
Edge exclusion: 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incident illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY Coordinates
IDM SP2
PC:
Processer: Intel Xeon CPU 3.20 GHz
Handler: SecondaryUI, Phoenix, SP2
RAM Memory: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
3.5" Floppy
Facilities:
CDA: > 28.3 Nl/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, >-700 mm Hg
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2是半导体工业中用于检测缺陷、保证制造过程中光掩模和晶片质量的尖端掩模和晶片检测设备。这一创新系统将先进技术与高精度相结合，提供彻底的检测能力，使半导体制造商能够保持高产生产，达到严格的质量标准。KLA Surfscan SP2单元的核心是其先进的成像技术，它利用先进的光学和传感器来捕捉蒙版和晶片表面的高分辨率图像。然后使用强大的算法和软件对这些图像进行分析，以检测和分类各种类型的缺陷，包括粒子、模式偏差以及其他可以影响半导体器件性能和可靠性的异常。TENCOR SURFSCAN SP2的一个关键特点是它能够在微观水平上检查掩模和晶片，确保即使是最小的缺陷也能准确识别和分类。这种精度水平在半导体工业中至关重要，在半导体工业中，电路模式的大小和密度不断缩小，使得用传统的检测方法检测缺陷越来越具有挑战性。SURFSCAN SP 2配备了多种检查模式，允许用户根据自己制造过程的具体要求定制检查过程。这些模式包括亮场、暗场和溷合成像模式,每种模式都提供了检测不同类型缺陷和优化检查性能的独特功能。此外,Surfscan SP2还具有一个用户友好的界面,使操作员能够高效地设置和运行检查,简化检查过程并最大程度地减少生产中的停机时间。该机器还提供自动缺陷审查和分类功能,允许用户无需人工干预即可快速识别和分析缺陷,从而进一步提高生产率和产量。除了缺陷检测外，TENCOR Surfscan SP2还可以执行临界尺寸测量，提供有关掩模和晶片上特征大小和形状的宝贵数据。这些信息对于确保半导体器件的准确性和保持制造过程控制至关重要。总体而言，KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2是一种最先进的掩模和晶圆检测工具，提供无与伦比的检测缺陷、确保半导体器件质量和提高半导体行业生产效率的能力。其先进的成像技术、多种检测模式和用户友好的界面，使其成为半导体制造商努力在其工艺过程中实现高产率和可靠性的强大工具。
还没有评论